| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCTION MANAGEMENT OF THIN-FILM HEAD AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10188223(A) |
申请公布日期 |
1998.07.21 |
| 申请号 |
JP19960341432 |
申请日期 |
1996.12.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FUJIWARA SHOICHIRO;SEKI TAKAFUMI |
| 分类号 |
H01L21/66;G11B5/31;(IPC1-7):G11B5/31 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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