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发明名称 Rotating susceptor semiconductor wafer processing cluster tool module useful for tungsten cvd
摘要
申请公布号 SG50485(A1) 申请公布日期 1998.07.20
申请号 SG19960002612 申请日期 1991.08.22
申请人 MATERIALS RESEARCH CORPORATION 发明人 NUTT VAN CHARLES;HURWITT, STEPHEN, D.;ARONSON, ARNOLD, J.
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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