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发明名称
摘要
申请公布号
JP2777147(B2)
申请公布日期
1998.07.16
申请号
JP19880222993
申请日期
1988.09.06
申请人
TOSHIBA KK
发明人
HORIOKA KEIJI;OKANO HARUO
分类号
G01N23/00;G01N25/16;G01N37/00;G01Q30/02;G01Q60/10;G01Q60/24;H01J37/28;(IPC1-7):G01N25/16
主分类号
G01N23/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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