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发明名称 OPTICAL APPARATUS AND EXPOSURE APPARATUS USING THE OPTICAL APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0141062(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19940023091 申请日期 1994.09.13
申请人 SAMSUNG AIR CO.,LTD 发明人 CHONG, YON-NK
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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