发明名称 |
METHOD OF MAKING SINGLE POLYSILICON SELF-ALIGNED TRANSISTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
KR0139805(B1) |
申请公布日期 |
1998.07.15 |
申请号 |
KR19890008877 |
申请日期 |
1989.06.27 |
申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
BRIGHTON, JEFFREY E. |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/70 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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