发明名称 METHOD OF MAKING SINGLE POLYSILICON SELF-ALIGNED TRANSISTOR
摘要
申请公布号 KR0139805(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19890008877 申请日期 1989.06.27
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 BRIGHTON, JEFFREY E.
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/70 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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