发明名称 Referenzinterferometer (RI) mit variabler Wellenlänge
摘要
申请公布号 DE19522263(C2) 申请公布日期 1998.07.09
申请号 DE1995122263 申请日期 1995.06.20
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH, 07745 JENA, DE 发明人 BECHSTEIN, KARL-HEINZ, DIPL.-PHYS., 07749 JENA, DE;MOELLER, BEATE, DIPL.-PHYS., 07743 JENA, DE;SALEWSKI, KLAUS-DIETER, DR.RER.NAT., 17489 GREIFSWALD, DE
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02;G01J9/04 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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