| 发明名称 |
COMPOSITIONS AND METHODS FOR POLISHING SILICA, SILICATES, AND SILICON NITRIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0851798(A1) |
申请公布日期 |
1998.07.08 |
| 申请号 |
EP19970945165 |
申请日期 |
1997.02.26 |
| 申请人 |
RODEL, INC. |
发明人 |
COSSABOON, DAVID;WANG, JIUN-FANG;COOK, LEE, MELBOURNE |
| 分类号 |
C09G1/02;(IPC1-7):B24B1/00 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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