发明名称 Verfahren zur Trennung eines Silans mit Hilfe einer Membran
摘要
申请公布号 DE69408388(T2) 申请公布日期 1998.07.02
申请号 DE1994608388T 申请日期 1994.09.09
申请人 L'AIR LIQUIDE, S.A. POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE, PARIS, FR 发明人 BOUARD, PASCAL, F-91210 DRAVEIL, FR;LABRUNE, PHILIPPE, F-94100 SAINT MAUR, FR;VILLERMET, ALAIN, F-78220 VIROFLAY, FR;GASTIGER, MICHEL, F-91400 ORSAY, FR
分类号 B01D53/22;C01B6/34;C01B33/04;H01L21/20;(IPC1-7):C01B6/34 主分类号 B01D53/22
代理机构 代理人
主权项
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