发明名称 |
SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10177989(A) |
申请公布日期 |
1998.06.30 |
申请号 |
JP19960337825 |
申请日期 |
1996.12.18 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SUZUKI TAKASHI;SASABE SHUNJI;YAMADA TAKASHI |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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