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发明名称 SHEET PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH10172791(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960324954 申请日期 1996.12.05
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 YOSHIDA MITSUHIRO
分类号 H05H1/46;C23C14/35;H01J27/16;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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