发明名称 WAFER JIG FOR ELECTROCHEMICAL ETCHING
摘要
申请公布号 JPH10172953(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960329781 申请日期 1996.12.10
申请人 FUJIKURA LTD 发明人 NISHIMURA HITOSHI
分类号 C25F3/12;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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