发明名称 FLOATING-TYPE ELECTROSTATIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH10174460(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960352689 申请日期 1996.12.13
申请人 YASKAWA ELECTRIC CORP 发明人 MATSUZAKI KAZUNARI
分类号 H02N1/00;B81B3/00;(IPC1-7):H02N1/00 主分类号 H02N1/00
代理机构 代理人
主权项
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