| 发明名称 |
INJECTION HEAD OF REACTIVE GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10168572(A) |
申请公布日期 |
1998.06.23 |
| 申请号 |
JP19970291602 |
申请日期 |
1997.10.08 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
FUKUNAGA YUKIO;SHINOZAKI HIROYUKI;TSUKAMOTO KIWAMU;SAITO MASAO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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