发明名称 VACUUM VALVE UNIT
摘要
申请公布号 JPH10168997(A) 申请公布日期 1998.06.23
申请号 JP19960353067 申请日期 1996.12.13
申请人 EBARA CORP 发明人 KON AKIHIRO
分类号 E03F5/22;(IPC1-7):E03F5/22 主分类号 E03F5/22
代理机构 代理人
主权项
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