| 摘要 |
Die Abtastvorrichtung umfasst einen Messtisch (T), auf welchem das Messobjekt (B) für die Ausmessung befestigbar ist, einen mittels einer Antriebseinrichtung (A) linear über die Oberfläche des Messtischs bewegbaren Messwagen (W) mit einer fotoelektrischen Abtasteinrichtung (100), eine Steuereinrichtung (S) für den Messwagen (W), die Abtasteinrichtung (100) und die Antriebseinrichtung (A) und eine Verarbeitungseinrichtung (C), um die von der Abtasteinrichtung (100) erzeugten Meßsignale aus den abgetasteten Bildelementen (8) des Messobjekts (B) aufzubereiten und auszuwerten. Die Abtasteinrichtung (100) selbst umfasst eine Vielzahl von Messköpfen (120) zur bildelementweisen Ausmessung einer entsprechenden Vielzahl von in Reihe hintereinander liegenden Bildelementen (8) des Messobjekts (B) und entlang einer entsprechenden Vielzahl von zur Bewegungsrichtung (X) des Messwagens (W) parallelen Abtastspuren (5a, 5b), so dass das Messobjekt (B) in einem gitterförmigen Abtastmuster bildelementweise sequentiell abgetastet wird. <IMAGE>
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