发明名称 DEVICE FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH10149997(A) 申请公布日期 1998.06.02
申请号 JP19960307751 申请日期 1996.11.19
申请人 SHARP CORP 发明人 HASHIMOTO TAKAHIRO
分类号 C30B19/06;H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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