发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING MEHTOD FOR THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
KR0139276(B1) |
申请公布日期 |
1998.06.01 |
申请号 |
KR19920025179 |
申请日期 |
1992.12.23 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FUJITA, YUUJI;MIZUISHI, KENICHI |
分类号 |
H01L21/60;H01L23/473;H01L23/498;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/60 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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