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发明名称 ETCHANT, DETERGENT AND DEVICE/APPARATUS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR0140688(B1) 申请公布日期 1998.06.01
申请号 KR19930020137 申请日期 1993.09.28
申请人 ALPS ELECTRIC CO.,LTD 发明人 SEKI, HITOSHI;MIYAZAWA, SATOSHI;FUKUI, HIROFUMI;KASAMA, YASUHIKO;ABE, AKISAO;OMI, TADAHIRO;OGINO, KAZUKO
分类号 C23F1/24;C11D7/08;C11D11/00;C23G1/08;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3213;(IPC1-7):B05D5/00 主分类号 C23F1/24
代理机构 代理人
主权项
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