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发明名称
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申请公布号 JP2756320(B2) 申请公布日期 1998.05.25
申请号 JP19890255524 申请日期 1989.09.29
申请人 KYANON KK 发明人 YAMAGATA KENJI
分类号 C30B25/02;C30B25/18;H01L21/20;H01L21/324;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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