| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10135239(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
| 申请号 |
JP19960286511 |
申请日期 |
1996.10.29 |
| 申请人 |
DENSO CORP |
发明人 |
YAMADA HITOSHI;AOKI YUTAKA |
| 分类号 |
H01L29/872;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 |
主分类号 |
H01L29/872 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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