发明名称 TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10132905(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960283684 申请日期 1996.10.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OSHIMA TSUTAE
分类号 G01R31/316;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/316 主分类号 G01R31/316
代理机构 代理人
主权项
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