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发明名称 Plasma processing apparatus
摘要
申请公布号 EP0578047(B1) 申请公布日期 1998.05.13
申请号 EP19930109961 申请日期 1993.06.22
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION 发明人 NISHIMURA, HIROSHI;ONO, TOSHIRO;MATSUO, SEITARO
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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