| 摘要 |
본 고안은 반도체 에칭장비의 애노우드 조립체에 관한 것으로, 종래에는 상기 애노우드 몸통내에 냉각라인이 형성되므로 인해 상기 애노우드를 교체할 때마다 냉동기로부터 애노우드 냉각라인를 차단시켜야 하는 작업상의 번거로움은 물론, 상기 냉각라인을 냉동기로부터 차단하더라도 그 냉각라인 내부에 잔존하는 냉각수를 챔버 외부로 배출시켜야 하므로 전체 공정시간이 늘어나 결국 웨이퍼 가공의 생산성이 하락되는 문제점도 있었던 바, 본 고안에서는 상기 애노우드의 과열을 방지하는 냉각액이 흐르는 애노우드 냉각라인을 중심으로 상·하부 애노우드로 구분, 성형하여 상기 애노우드 냉각라인을 포함하지 않는 상부 애노우드만을 교체함으로써, 상기 애노우드의 교체작업을 용이하게 하는 한편 이로 인한 웨이퍼의 생산공정시간을 단축하여 그 생산성을 향상시키게 되는 효과가 있다. |
