| 摘要 |
본 고안은 반도체 제조 공정중 포토 레지스터 애싱( Photoresist Ashing) 공정에서의 사용되는 웨이퍼 운반용 캐리어에 관한 것으로 특히, 소정 개수의 지지봉이 두 개의 측면 고정부재에 고착되어 있으며 각각의 지지봉에는 동일한 위치에 동일간격으로 동일갯수의 슬롯이 형성되어 있는 웨이퍼 운반용 캐리어에 있어 슬롯의 처음과 마지막 슬롯 위치에 항플라즈마 소재로 구성된 대미지 방지판이 장착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 캐리어를 제공하면, 플라즈마 대미지로 인해 발생되는 문제점을 해소하여 전체적인 웨이퍼 공정의 수율이 증가하게 된다. |
