| 摘要 |
본 고안은 반도체 제조장치에 관한 것으로 특히 문제발생을 사전에 감지하여 예방하는데 적당하도록 한 반도체 제조장치의 제어회로에 관한 것이다. 이를 위한 본 고안의 반도체 제조장치의 제어회로는 웨이퍼가 연속으로 순차 이동되고, 이동이 정지된 상태에서는 소자의 제조공정이 진행되는 반도체 소자의 제조장치에 있어서, 이동되기전의 위치에서 웨이퍼를 감지해내는 제1감지부와, 이동된후의 웨이퍼를 감지해내는 제2감지부로 이루어져 상기 제1감지부의 감지신호와 제2감지부의 감지신호를 배타적 논리합하여 그 신호에 의해 다음의 동작진행 여부를 결정하는 것을 특징으로 한다. |
