| 摘要 |
<p><P>La présente invention concerne un procédé de régulation de la teneur de l'atmosphère d'une enceinte en un élément donné, à une valeur inférieure à une limite haute prédéterminée (Lh ), caractérisé par la mise en oeuvre d'au moins une première source de gaz et une seconde source de gaz, la teneur en l'élément de la première source étant supérieure à la teneur en l'élément de la seconde source de gaz, l'enceinte étant alimentée en régime nominal à l'aide de la première source de gaz, avec un débit nominal Qn . Si la teneur en l'élément de l'atmosphère de l'enceinte est supérieur à un premier seuil haut prédéterminé (Lh - vepsilon), on coupe l'alimentation de l'enceinte en première source de gaz pour alimenter l'enceinte en seconde source de gaz. On ne revient aux conditions d'alimentation de l'enceinte en régime nominal que lorsque le résultat de la mesure est inférieur à un second seuil haut prédéterminé (Lh - alpha).</P></p> |
