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经营范围
发明名称
SIDE WALL OXIDE FILM
摘要
申请公布号
KR0136913(B1)
申请公布日期
1998.04.29
申请号
KR19890018827
申请日期
1989.12.18
申请人
LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD
发明人
KWAK, DUK-YOUNG;PARK, AHN-JOON;KIM, JUNG-KYU
分类号
H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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