发明名称 SIDE WALL OXIDE FILM
摘要
申请公布号 KR0136913(B1) 申请公布日期 1998.04.29
申请号 KR19890018827 申请日期 1989.12.18
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 KWAK, DUK-YOUNG;PARK, AHN-JOON;KIM, JUNG-KYU
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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