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发明名称
WAFER TRANSFER ARM AND WAFER TRANSFER BLADE
摘要
申请公布号
KR0135802(B1)
申请公布日期
1998.04.29
申请号
KR19940016647
申请日期
1994.07.11
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD
发明人
CHOE, SUN-YONG;YU, KEUN-HONG;PARK, JIN-HO
分类号
B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
主权项
地址
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