| 发明名称 |
PROBE TRAVEL METHOD AND PROBE TRAVEL MECHANISM OF SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10104246(A) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
| 申请号 |
JP19960278641 |
申请日期 |
1996.09.30 |
| 申请人 |
HITACHI CONSTR MACH CO LTD |
发明人 |
KURODA HIROSHI |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/00;G01Q10/02;G01Q60/24;G01Q60/32;G01Q60/38;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
