发明名称
摘要
申请公布号 JP2740196(B2) 申请公布日期 1998.04.15
申请号 JP19880178778 申请日期 1988.07.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/304;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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