发明名称 TEST SOCKET AND ELECTRIC CHARACTERISTIC TEST DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1098083(A) 申请公布日期 1998.04.14
申请号 JP19960248409 申请日期 1996.09.19
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 KIMOTO RYOSUKE;NISHI KUNIHIKO;ANJO ICHIRO
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;H01L23/32;H01R33/76;H01R33/88;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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