| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON TRICHLORIDE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1095606(A) |
申请公布日期 |
1998.04.14 |
| 申请号 |
JP19960248169 |
申请日期 |
1996.09.19 |
| 申请人 |
TOKUYAMA CORP |
发明人 |
SAKATA KANJI;HIROTA KENJI |
| 分类号 |
B01J27/128;B01J23/78;C01B33/08;C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/08 |
主分类号 |
B01J27/128 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
