| 发明名称 |
METHOD FOR JUDGING END POINT OF ETCHING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1096090(A) |
申请公布日期 |
1998.04.14 |
| 申请号 |
JP19960249767 |
申请日期 |
1996.09.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TECHNO ENG CO LTD |
发明人 |
HASE YUKIHIRO;IKUHARA SHIYOUJI;TAMAI KENJI;KONDO HIDEAKI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
