发明名称 SEMICONDUCTOR INTERGRATED CIRCUIT CAPACITOR HAVING A CARBON FILM
摘要
申请公布号 KR0130546(B1) 申请公布日期 1998.04.08
申请号 KR19930013409 申请日期 1993.07.16
申请人 TOSHBA CO.,LTD 发明人 IMAI, KEITARO;OKANO, HARUO;AOYAMA, TOMONORI;OKAYAMA, YASUNORI
分类号 H01L21/28;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/49;H01L29/92;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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