| 发明名称 |
FORMATION OF METALLIC THIN COATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1088356(A) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
JP19960237568 |
申请日期 |
1996.09.09 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SAKAKIBARA TAKAHISA;IZU HIROAKI;TARUI HISAKI;KIYAMA SEIICHI |
| 分类号 |
C23C16/16;B81C1/00;C23C16/08;C23C16/48;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/48 |
主分类号 |
C23C16/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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