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发明名称 Wet processing apparatus
摘要
申请公布号 GB2317747(A) 申请公布日期 1998.04.01
申请号 GB19970020625 申请日期 1997.09.29
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 SHINYA * YAMASAKI
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00;F16J15/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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