| 发明名称 |
FORMATION OF SIC THIN COATING ON HIGH POLYMER SUBSTRATE BY PLASMA CVD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1081971(A) |
申请公布日期 |
1998.03.31 |
| 申请号 |
JP19960288156 |
申请日期 |
1996.10.30 |
| 申请人 |
SUZUKI MOTOR CORP |
发明人 |
SANO KEIICHIRO;NOMURA MASAYA;TAMAMAKI HIROAKI |
| 分类号 |
C08J7/00;C08J7/06;C08J7/18;C23C16/32;C23C16/511;(IPC1-7):C23C16/32 |
主分类号 |
C08J7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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