| 发明名称 |
PROBE FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR CHIP AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1082800(A) |
申请公布日期 |
1998.03.31 |
| 申请号 |
JP19960238745 |
申请日期 |
1996.09.10 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
ITO TAKAHIRO;SAWADA YASUSHI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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