| 发明名称 |
DETECTING METHOD FOR DEFECTS OF SAMPLE WITH PERIODIC PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1078307(A) |
申请公布日期 |
1998.03.24 |
| 申请号 |
JP19960252187 |
申请日期 |
1996.09.04 |
| 申请人 |
DAINIPPON PRINTING CO LTD |
发明人 |
SHIMIZU SATOSHI;NAKANISHI MINORU |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/30;G01M11/00;G01N21/88;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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