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发明名称
摘要
申请公布号
JP2727785(B2)
申请公布日期
1998.03.18
申请号
JP19910090939
申请日期
1991.04.23
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
SUWADA MAKOTO
分类号
G01R31/319;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/319
主分类号
G01R31/319
代理机构
代理人
主权项
地址
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