发明名称 METHOD FOR CONTROLLING MODULUS OF ELASTICITY OF PIEZOELECTRIC SUBSTANCE
摘要
申请公布号 JPH1074990(A) 申请公布日期 1998.03.17
申请号 JP19960230491 申请日期 1996.08.30
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 DATE MUNEHIRO;HISATANI MASAYUKI;SAKAI SHIGERU
分类号 G01L1/16;H01L41/04;H01L41/08;(IPC1-7):H01L41/08 主分类号 G01L1/16
代理机构 代理人
主权项
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