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发明名称 ION BEAM PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1074737(A) 申请公布日期 1998.03.17
申请号 JP19970121270 申请日期 1997.05.12
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 IWASAKI KOJI
分类号 G21K5/04;C23C16/48;C23F4/00;H01J37/305;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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