发明名称 ULTRASONIC VIBRATOR AND UNTRASONIC WASHER WITH IT
摘要
申请公布号 JPH1074721(A) 申请公布日期 1998.03.17
申请号 JP19960228209 申请日期 1996.08.29
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 MATSUZAKI NOBUKI;SAWANO TATSURO
分类号 B08B3/12;H01L21/304;H04R17/00;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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