| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR DETECTING SHAPE DEFECT OF SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1073423(A) |
申请公布日期 |
1998.03.17 |
| 申请号 |
JP19970168363 |
申请日期 |
1997.06.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NOMOTO MINEO;TAKAGI YUJI;NINOMIYA TAKANORI |
| 分类号 |
G01B11/02;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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