发明名称 Reinigungsverfahren für Kryofilme durch ein Niederenergieplasma
摘要
申请公布号 DE69501015(T2) 申请公布日期 1998.03.12
申请号 DE19956001015T 申请日期 1995.05.02
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US 发明人 LIPPEY, BARRET, GARDENA, CA 90249, US;GLEICHAUF, DARRELL A., REDONDO BEACH, CA 90277, US;WILLIAMSON, WELDON S., MALIBU, CA 90265, US
分类号 H05H1/24;B64G1/66;C23F4/00;C23G5/00;G02B5/08;G02B23/00;G02B27/00;(IPC1-7):C23F1/00;B08B7/00 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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