发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1070091(A) 申请公布日期 1998.03.10
申请号 JP19960226381 申请日期 1996.08.28
申请人 SHARP CORP 发明人 DOI TSUKASA
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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