发明名称 UNIBODY CRUCIBLE
摘要 A unibody, monolithic, one-piece negative draft crucible (40) for an MBE effusion cell. The crucible maximizes capacity, uniformity and long term flux stability, and minimizes oval defects, depletion effects, and short term shutter-related flux transients. <IMAGE>
申请公布号 EP0826131(A1) 申请公布日期 1998.03.04
申请号 EP19960915496 申请日期 1996.05.03
申请人 CHORUS CORPORATION 发明人 COLOMBO, PAUL, E.;DONADIO, ROBERT, F
分类号 C30B23/08;C04B35/583;C23C14/24;C23C16/01;C23C16/34;C30B23/06;F27B14/10;F27D1/16;H01L21/203;(IPC1-7):F27B14/10;C23C16/52;B01D7/02;B28B7/16;B28B21/42;C23C16/46 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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