Processing module for a capacitive pressure sensor

摘要

Es ist eine Auswerteeinheit eines Differenzdrucksensors vorgesehen die ein Ausgangssignal liefert, das einem bezüglich eines durch den statischen Druck (PS) bedingten Meßfehlers korrigierten Differenzdruck (ΔP) entspricht. Der Differenzdrucksensor weist eine kapazitive Einkammer-Differenzdruck-Meßzelle mit zwei Kondensatoren (4, 5) als Sensorelement (1) auf, und am Sensorelement (1) ist ein Temperatursensor (6) angeordnet. Die Korrektur des Differenzdruck-Meßwerts erfolgt mittels eines ersten Korrekturwerts (ΔK), der bei einer Referenztemperatur (TR) ein Maß für den statischen Druck (PS) ist. Dieser Korrekturwert (ΔK) bestimmt sich aus der Differenz zwischen einer mittels des Temperatursensors (6) bestimmten Sensortemperatur (TS) und einer Summe aus einem Temperaturversatz (T0) und einer der Summe (Σ) der Kehrwerte der Kapazitäten der beiden Kondensatoren (4, 5) zugeordneten internen Temperatur (Ti).