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发明名称
摘要
申请公布号 JP2721013(B2) 申请公布日期 1998.03.04
申请号 JP19890250012 申请日期 1989.09.26
申请人 KYANON KK 发明人 SHINDO HISASHI;ICHIKAWA TAKESHI;IKEDA ATSUSHI;OMI KAZUAKI;MATSUMOTO SHIGEYUKI
分类号 C23C16/04;C23C16/06;C23C16/16;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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