| 发明名称 |
CLEANING SHEET FOR MANUFACTURING PRECISION EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1057292(A) |
申请公布日期 |
1998.03.03 |
| 申请号 |
JP19960241142 |
申请日期 |
1996.08.23 |
| 申请人 |
JAPAN VILENE CO LTD |
发明人 |
TANAKA HIROSHI;ITO HIROSHI |
| 分类号 |
A47L13/16;D04H3/16;G11B5/127;G11B5/84;(IPC1-7):A47L13/16 |
主分类号 |
A47L13/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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